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1531型是一款表面安裝MEMS直流加速度計,專為高溫應(yīng)用而設(shè)計。其性能規(guī)格與SDI 1521型幾乎相同,但進(jìn)一步加入了更高溫度的材料。每個1531型微機(jī)電系統(tǒng)直流加速度計都是氮阻尼的、密封的、在氣候室環(huán)境中仔細(xì)測試的,并經(jīng)過嚴(yán)格的溫度調(diào)節(jié)協(xié)議,以確保其在高達(dá)+175°C的溫度下持續(xù)可靠運(yùn)行。
每個微型密封封裝結(jié)合了用于直流測量的MEMS電容式感測元件和包括感測放大器和差分輸出的定制集成電路。這種設(shè)計確保了該裝置對溫度變化和梯度保持相對不敏感。每個包裝都經(jīng)過SDI的單獨測試、編程和校準(zhǔn),并在其頂部和底部表面標(biāo)有序列號,以便于追溯。此外,每個單元都有一份可選的校準(zhǔn)測試報告(1531-TST),顯示加速度計的測量偏差、比例因子、線性度、工作電流和頻率響應(yīng)規(guī)格。
可用的 G-范圍
± 5 g
± 10 g
± 25 g
± 50 g
± 100 g
± 200 g
± 400 g
低噪聲:12μg/rootHz±5g全尺寸版本的典型值
-55至+175°C操作
對從零(DC)到2000+Hz的頻率作出響應(yīng)
高穩(wěn)定性和耐用性
±4V差分輸出
+5 VDC,5 mA電源(典型)
集成傳感器和放大器
內(nèi)部溫度傳感器
氮氣阻尼和密封
為可追溯性而序列化
符合RoHS
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